单晶硅超声波清洗机

 单晶硅超声波清洗机是一种用于清洗晶硅片等精密物件的清洗设备，从晶棒上切割下来的单晶硅片经过倒角、双面研磨、抛光等工序加工后，其表面会附着各种污染物。随着集成电路对硅片质量要求越来越高，对硅片表面的污染物有着极其严格的要求和控制。如果单晶硅片没有清洗干净则会严重影响器件的质量和成品率，清洗也成为单晶硅片制造过程中重要的步骤。

       单晶硅超声波清洗机是通过超声波振动在液体中形成微小的气泡，这些气泡由于超声波空化作用快速地破裂而产生微小的擦洗从而出去单晶硅片表面的污染物。超声波清洗技术在半导体行业中已经是一种广泛应用到的清洗方式，它具有清洗效果好、操作简单等优势。在单晶硅片的制作过程中大部分步骤为清洗工艺，在清洗硅片中应正确的使用单晶硅片超声波清洗机，单晶硅片的洁净度对半导体器件的性能起着至关重要的作用。